- микродефектность
- 1) microflaw
2) <engin.> microimperfection
Русско-английский технический словарь.
микродефектность
Смотреть что такое "микродефектность" в других словарях:
ФОТОРЕЗИСТЫ — материалы органич. и неорганич. происхождения, чувствительные к оптич. излучению видимого или УФ диапазона; применяются в фотолитографии для получения рельефного покрытия заданной топологии. Формирование в слое Ф., нанесённого на к. л. подложку,… … Физическая энциклопедия
